智泰精密仪器(中山)有限公司

产品介绍

超声波流量计仪是一种用于检测半导体制造装置内，涂布药液的流量管理的一种测量仪器，此种仪器的特性是配管两端装有超声波探头，相互进行收发信号，测定各自传播时间；顺流的超声波会很快到达，相反逆向的超声波则会较晚达到，根据传播时间算出流速，并通过流速算出流量。

产品特点

1、配管两端装有超声波探头，相互进行收发信号，测定各自传播时间。

2、无突出部位暴露在流液内不会产生测量误差。

3、与液体接触部完全使用TEFLON制造。

4、测量范围大。

技术参数

具体型号

USF100A-G20EP

计测方式

超音波传播时间差方式

耐压力

0.5MPa

测定流量范围

0.5-20L/min

分辨能力

0.01L/min

更新周期

0.01秒

测定流量精度

±1%FS

测定对象

流量（纯水、药液）

应用领域

半导体制造装置内，涂布药液的流量管理。